Nikon 影像测量仪 VMZ-K3040/6555

结合共聚焦光学系统和明场光学系统，可快速精确测量精细的三维几何体支持在同一视场中进行2D测量和高度测量
本系列最适合用于检测精确的3D形样本(包括微凸点、电路图案和键合线，以及带有无数小点的样本:如探针卡)，还可测量PCB上的浅槽和微突边缘。
VMZ-K3040S型/H型
VMZ-K6555S型/H型
高性能GUI和成熟的软件功能提供优质快速的3D测量
·可以在同一视场中高速、高度精确地执行明场图像的2D测量和3D图像的高度测量。
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·除了NEXIV系列采用的测量工具外，还可以针对不同的工件形状(例如球形/平面凸点、键合线和探计卡)使用3D特征测量工具。针对测量顺序优化的算法可实现视场中的多点同时测量。
规格
·测量结果存储为CSV格式ASCI数据，用于进行数据汇报/SPC分析。
型号
行程
物锐倍平共聚焦光学系统(区域高度测量)
最大扫描高度
视场(mm)
高度测量复精度(20)
高度分率
提场(mm)
VMZ-K3040S型
VMZ-K6555S型
000xx 400x 150(2mm
650[xx 55oY)x 150(Zlmm
标准头
1.5X
3x
7.5x
1.5X
3x
7.5X
VMZ-K3040 H型
VMZ-K6555 H型
6500x)x 550(Y1x 150(Z]mm
3000x)x 400(Y1x 150|2)mm
高倍率头
15x
30x
15x
30x
8x6
4x3 1.6x1.2 8x6
0.6um0.35um 0.25um
0.6um
lmm
4x3 1.6x1.2
0.35m 0.25jm
0.01um