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LAPC-9106ST 型表面尘埃粒子计数器
表面粒子计数器是用于检测物体表面微粒数量及粒径分布的精密仪器,广泛应用于半导体、生物医药等洁净环境评估领域。
表面粒子计数器的核心功能与技术特性
· ?工作原理?:通过激光散射技术实时检测物体表面0.1μm及以上粒径的微粒,采用吹吸双气流设计保证采样准确性
· ?关键技术参数?:
· 检测精度:最小可测粒径达0.1μm(国内首创技术)。?
· 流量范围:主流产品支持28.3L/min(1CFM)标准化采样。
· 数据输出:内置打印机或多通道实时数据显示。
行业应用与典型场景
· ?半导体制造?:晶圆生产环节的部件洁净度验证。
· ?生物医药?:无菌灌装线设备表面微生物污染控制。
· ?精密电子?:显示屏模组组装过程中的颗粒管控
·
产品概述
1、光源:半导体激光器
2、采样流量:28.3L/min,流量误差:≤±5%
内置流量传感器,流量自动闭环控制
3、粒径通道:0.1 , 0.2, 0.3,0.5,1.0 ,5.0μm
4、显示器:7 寸液晶触摸屏(LCD)
5、电源:锂电池可充电16.8V
6、数据储存:可储存30000 组数据
7、打印功能:热敏打印机
8、表面探头:12.7,20,30,50,70mm(直径);标配一
个50mm 表面探头
9、可根据探头面积直接判断洁净度等级
10、可直接显示个/m3或ft3粒子数量
11、可直接显示m2、ft2、in2、cm2、mm2
12、可用于洁净室悬浮粒子的检测
13、可用于表面尘埃粒子的检测
14、粒径分布误差:≤±30%
15、粒子浓度示值误差:≤±30%
产品特色
本仪器是根据ISO 14644-1:2015 及ISO14644-9:2022 等国际标准与国内相关大学及科研
单位共同开发研制的成功产品。该产品整体是采用316L 不锈钢制作的外壳。激光传感器采用
全半导体激光器及半导体光敏二极管接收器,确保光源的稳定性和信号接收器的准确度。大
大减少了散射腔内的杂散射光,提高了传感器的信噪比。采用LCD 液晶触摸屏控制,使的显
示数据清晰,操作方便。该仪器可根据客户选择的标准,自动判断出各种净化等级。




应用范围
该产品广泛应用于医疗,制药,电子,化学,光学,食品,化妆品,生物制品,航空航
天及各种检测机构用作尘埃粒子的检测。
主要技术参数
1. 流量:28.3 L/min±5% 内置流量传感器,流量自动闭环控制
2. 光源:进口激光二极管
3. 测试粒径: 0.1 , 0.2, 0.3,0.5,1.0 ,5.0μm(可根据客户需求定制,最多八通道)
4. 最大饱和浓度:2000000/ft3(5%)
5. 自净时间:≤10min
6. 测量次数:0-99 次周期:0-99999 秒测量间隔:0-9999 秒延时时间:0-9999 秒
7. 洁净度等级:1~9 级
8. 采样头规格:Φ36.5
9. 数据单位:m3、ft3
10. SCP 等级: 1 级~8 级
11. 表面类型:圆形、方形
12. 表面探头:12.7,20,30,50,70mm(直径)
13. 数据单位:m2、ft2、in2、cm2、mm2
14. 根据探头的形状(如:圆形输入直径、方形输入长宽尺寸),自动计算出表面积。
15. 打印功能:热敏打印机
16. 数据储存:可储存30000 组数据
17. 重量:7.8kg
18. 外形尺寸:230×230×230mm