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商品详情
- 强氧化性，对铬、钛、钼等常用金属薄膜蚀刻速度快
- 常温或中低温即可反应，无需高温加热，能耗更低、工艺更安全
- 反应可控性强，侧蚀小、垂直度好，适合精细线路与微米级图形
- 线宽控制稳定，适合光掩膜、TFT、IC 晶圆、柔性线路板等高精度场景
- 蚀刻后金属表面平整、无毛刺、无残留
- 不易出现过蚀、局部蚀穿等缺陷，良率更高
- 水溶性好，配液方便，可直接用于喷淋、浸泡蚀刻
- 反应终点易判断，便于自动化产线使用
- 对光刻胶、玻璃、石英、硅基底等腐蚀性极低
- 适合对基底敏感的高端微电子器件加工
- 成分单一，废液中铈离子可回收利用
- 相比传统含氰、含氟蚀刻体系，更安全、更易达标处理
硝酸铈铵是微电子、PCB、光掩膜、显示电路等领域常用的酸性高效蚀刻剂，尤其适合铬膜、钛膜、金属薄膜的精细刻蚀，优势非常突出：
