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零污染无油式真空泵应用于新能源行业锂电池节能增效PVD/CVD镀膜有效降低能耗设备
无油真空泵已成为新能源产业升级的刚需设备,重点突出零污染、耐腐蚀、智能化三大特性。
新能源行业核心应用场景
1. 锂电池制造- 硅片切割冷却液真空回收

新能源需求的性能突破
| 性能维度 | 技术方案 | 行业价值 |
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零污染保障 |
全干式压缩结构+陶瓷涂层转子 |
避免锂电池极片被烃类污染,良品率提升5%-8% |
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耐腐蚀升级 |
PTFE密封圈+镍基合金壳体 |
耐受NMP溶剂腐蚀,寿命延长至20,000小时 |
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防爆安全 |
整机防爆设计(Ex d IIC T4) |
满足氢能源车间ATEX防爆强制要求 |
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节能增效 |
永磁同步电机+变频控制 |
光伏产线真空系统能耗降低35% |
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智能物联 |
内置压力传感器+Modbus通讯协议 |
实时监控真空度,故障预警响应<10秒 |
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快速抽气 |
多级罗茨联动技术 |
氢能源罐体抽真空时间从4小时缩短至1.5小时 |

- 耐温:150℃(镀膜腔高温辐射环境)
效益对比
| 指标 | 原油封泵 | 无油爪式泵 |
| 镀膜均匀性 |
±8% |
±3% |
| 每日停机维护次数 |
3次 |
0次 |
| 年度耗材成本 |
¥65万 |
¥12万 |

新能源行业选型技术参数表
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应用场景 |
关键参数要求 |
推荐泵型 |
代表型号 |
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锂电池干燥 |
抽速≥600m3/h,耐温80℃ |
无油旋片真空泵 |
Busch R5 RA 0160 D |
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光伏镀膜 |
极限真空≤5×10?3 mbar |
干式螺杆真空泵 |
Leybold SCREWLINE SP630 |
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储氢罐抽真空 |
防爆认证Ex d IIB+H2 |
无油涡旋真空泵 |
Atlas Copco GHS VSD+ |
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燃料电池封装 |
无振动设计(振幅<2μm) |
磁悬浮无油真空泵 |
Edwards STP-IX4536 |
- VR模拟氢能源车间真空泵防爆测试流程
东莞市飞粤真空科技有限公司,主要经营进口真空泵、进口真空泵配件、真空泵维修保养,真空泵机组及中央真空系统设计安装;主营品牌:德国BUSCH普旭,Rietschle里其乐/伟力,Leybold莱宝,Becker贝克,英国BOC Edwards爱德华,日本ULVAC爱发科,Orion好利旺,TAIKO大晃,法国ALCATEL阿尔卡特,德国Pfeiffer普发,韩国KODIVAC大亚、DOVAC斗一等国际知名品牌 各种品牌型号齐全,欢迎咨询!!!