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VPS干式螺杆真空泵特征
1) 工作腔内无水无油,通过转子转动产生清洁真空。
2) 单级设计可使固体废弃物更容易排出并大幅减少留在泵内的残余物。
3) 通过特殊涂层处理,可用于抽取有毒、有腐蚀性及可凝性气体。
4) 工作方式不使用油或水,大幅降低操作成本。
5) 密封方式为机械或双唇密封。
6) 简便的设计易于设备维护。
7) 螺杆与螺杆之间及泵体与螺杆之间无接触,使用寿命长。
8) 气体通过泵体可迅速排出。
9) 螺杆转子具有较高的容积效率。
10) 较低的转速可降低振动及噪音。
干式螺杆泵的应用范围:
在半导体合成及液晶生产上的应用,主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0,以保护工件免受污染。
在石油化工中,主要是抽取可凝性气体,或有毒气体,或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。
制药行业,用于药物的真空干燥,药物中间体回收,回收气体消毒剂,为人造器官提供清洁无菌条件等。
化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工艺
工业排气;集中式真空处理系统
挤出机的混合工艺及板材的排气工艺
混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染,及喷射器中的阻塞物。
涉及无忧污水真空处理的所有应用
食品行业用于香料,香精浓度,食品包装等。
VPS?大型干式螺杆真空泵?参数表
(变螺距干式螺杆真空泵)
|
型 号 |
VPS-P1500 |
VPS-P2700 |
|
|
抽速 |
M3/h |
1250/1500 |
2250/2700 |
|
CFM |
735/882.8 |
1324/1589 |
|
|
极限压力 |
(Torr) |
0.1 / 0.05 |
0.1 / 0.05 |
|
(Pa) |
13.3 / 6.7 |
13.3 / 6.7 |
|
|
电机功率Kw(50/60Hz) |
37 |
55 |
|
|
泵转速(RPM) 50/60Hz |
1450/1750 |
1450/1750 |
|
|
口径 |
入口(A) |
125 |
150 |
|
出口(B) |
80 |
100 |
|
|
齿轮油(L) |
4 |
5 |
|
|
冷却水(L/min) |
20 |
28 |
|
|
重量(Kg,泵体) |
1200 |
1500 |
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