高真空隔膜阀中主要部件是真空隔膜。真空隔膜通常由丁膪橡胶，氟橡胶以及其他橡胶制成，使用时间过长，易产生老化失去弹性或者断裂，因此需定期更换。通常每2年调换一次，如果用于抽气系统或髙温部位，建议最好1年更换一次。
　　
　　伊利达西一的阀杆专家介绍，高真空隔膜阀的检修，主要是调换真空隔膜而不需要换新的隔膜阀。其步骤如下：
　　
　　1）用氮气破坏机组的真空，其目的是防止空气进入机组。
　　
　　2）根据阀门位置，若流要的话，应将溴化锂溶液排出机组，放人贮液器中。

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