高纯氧气(High Purity Oxygen)
分子式:O?
一、基本性质
? 外观:无色、无臭、无味气体
? 纯度:≥99.995%(5N级,常见99.999%)
? 密度:1.326 kg/m3(21.1℃,常压),比空气略重
? 沸点:-182.96℃(可液化成淡蓝色液氧)
? 熔点:-218.78℃
? 化学特性:不自燃、强助燃、强氧化性
二、纯度与杂质标准(典型)
? O? ≥ 99.995%
? N? ≤ 10 cm3/m3
? Ar ≤ 5 cm3/m3
? H?O ≤ 1 cm3/m3
? CO? ≤ 0.5 cm3/m3
? 尘埃(≥0.5μm)≤ 3.5粒/L
三、主要用途
? 半导体/电子
热氧化、CVD沉积、等离子刻蚀、晶圆清洗
? 科研/实验室
标准气、校正气、零点气、精密实验氛围
? 医疗
高压氧舱、重症呼吸支持(高纯度无杂质)
? 工业
冶金炼钢除杂、金属切割/焊接(高温火焰)
? 航天
液氧推进剂、生命支持系统
? 光纤/材料
光纤预制棒、精密材料氧化工艺
四、安全要点
? 强助燃:遇油脂、有机物易剧烈燃烧/爆炸
? 禁油:阀门、器具严禁沾油脂
? 通风:防富氧积聚(>23.5%氧浓度危险)
? 储存:蓝色钢瓶,远离火源、热源
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