一、基本概况

高纯氩 (High Purity Argon, Ar)

? 分子式：Ar

? 纯度等级：通常指 ≥ 99.999% (5N)；电子级可达 99.99999% (7N)。

? 大气来源：空气中含量约 0.934%，通过空气分离（精馏）提纯。

二、核心性质

物理性质

? 无色、无味、无毒、不可燃气体。

? 密度：1.784 kg/m3（0℃，比空气重）。

? 沸点：-185.9℃；熔点：-189.2℃。

? 微溶于水，易溶于有机溶剂。

化学性质

? 极惰性：最外层8电子稳定结构，常温/高温下几乎不与任何物质反应。

? 不助燃、不自燃，安全性高。

三、主要用途

1. 电子/半导体（核心）

? 硅/锗晶体生长、芯片光刻、溅射、CVD的保护气。

? 腔体吹扫、载气、稀释气。

2. 金属加工

? 氩弧焊保护气（不锈钢、铝、钛等）。

? 特种钢/有色金属冶炼的搅拌与保护。

3. 照明与激光

? 填充荧光灯、氙灯、氩离子激光器。

4. 科研与分析

? 气相色谱载气。

? 低温实验制冷剂、惰性环境。