高纯氮气是指纯度达到99.999%（5N）及以上的氮气，常温常压下为无色、无臭、无毒的惰性气体，化学性质稳定，广泛用于半导体、精密制造、科研等领域。

?? 纯度与标准

依据现行国标 GB/T 8979-2025，分级如下：

? 高纯氮：≥99.999%（杂质总含量≤10×10??），关键杂质：氧≤3×10??、水≤3×10??、氢≤1×10??、CO≤1×10??、CO?≤0.5×10??、甲烷≤1×10??；

? 超纯氮：≥99.9999%（6N），杂质达ppb级，用于半导体等严苛场景。

?? 理化性质

分子式N?，相对分子质量28.013，相对密度（空气=1）约0.967，气体密度1.153 kg/m3（21.1℃，101.3kPa），液态密度808.5 kg/m3（-195.8℃），沸点-195.6℃，熔点-210℃，临界温度-147.05℃、临界压力3.4MPa。

?? 制备工艺

? 深冷空分：空气液化后精馏，利用氮氧沸点差异分离，可制6N级，适合大规模供应；

? 变压吸附（PSA）：常温下碳分子筛优先吸附氧等杂质，纯度可达99.999%，启动快、灵活，中小流量常用；

? 膜分离：基于渗透率差异分离，纯度约99%-99.5%，适合简单场景；

? 精处理：加氢除氧、碳载除氧、分子筛深度