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针对电子行业VOCs排放特点采用相应末端治理技术,主要还是吸附法、焚烧法。吸附法利用多孔性固体吸附剂处理混合气体,吸附剂选择性高,活性炭属非极性吸附剂,对非极性化合物有较强的吸附能力,一般可净化低浓度VOCs,净化效率可达到90%以上。沸石浓缩转轮+焚烧方法使用的浓缩轮是一个装满吸附剂的旋转轮,废气由旋转轮的上游侧进入浓缩轮的吸附区,使VOCs得到浓缩,再经脱附燃烧处理,去除效率可在98%。但是相对来说投资就比较高了,有很多的企业无法接受动辄上百万的废气处理投资。建议采用催化氧化设备技术来处理电子厂废气,相对于冷凝、炭吸附、低温等离子等废气处理技术,在电子厂废气使用多相催化氧化设备技术时更科学、更安全,且性价比也更高。通过该套设备处理废气,废气净化率可达90%以上,且无二次污染。