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黑龙江设计半导体废气治理方案
废气是VOCs污染物，废气组分为：激光切割UV树脂颗粒物、润滑矿物油挥发物和高精制轻质矿物油等、工业乙醇及车间综合挥发物。废气处理设备设计风量为54,000m3/h；难挥发性物质，不易脱附。2#馆6个风筒排放排放废气经管道收集后，做为一个单元处理，安装2套活性炭吸附装置，废气处理设备及电气控制系统防止2#楼顶。
提供电子废气处理装置其处理能力分别为：
处理能力24000CMH 装置2台
处理能力15000CMH装置1台
电子废气处理系统工艺流程为:
气体收集→→干式过滤→→VOCs处理装置→→风机+烟囱（达标排放）
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