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氧化铝涂层源
已经开发了氧化铝涂层蒸发源以替代氧化铝坩埚舟,用于某些特定应用。这种蒸发源的优点是传热好,氧化铝对大多数金属呈惰性。此外,蒸发剂不会润湿氧化铝,从而在蒸发剂熔化时不会导致舟皿发生阻力变化。由于氧化铝的非润湿特性,蒸发剂在熔化时会形成一个球体,从而形成点源。
与未受保护的源相比,这种类型的蒸发源寿命更长。由于热传导的差异,涂层源需要多出 30% 到 50% 的功率来实现蒸发。氧化铝是半导体级的,通过等离子喷涂技术应用于舟或篮。应避免 1850°C 的温度,并且当进行蒸发时,应稍微降低功率以避免过热。
带有氧化铝屏障的钨钼舟
这种类型的光源旨在提供耐火金属舟和陶瓷屏障的优点。舟底暴露的金属区域允许蒸发物与源有良好的热接触。氧化铝屏障将阻止蒸发物向散热器蔓延或润湿整个船。