Parylene采用了一种独特的化学气相沉积工艺，整个过程是气态反应，又在真空条件下进行，因而可以获得非常均匀的涂层，达到其它方法难以实现的同形性。并且在涂覆过程中，聚对二甲苯单体能够渗透橡胶和塑料的表面，从而提供优异的粘附性。Parylene薄而透明的柔韧特性通过保护表面和改善表面特性，提高了橡胶和弹性体组件的性能。在不降低部件功能性能的情况下进行这些改进。Parylene产生真正的保形涂层部件，在平坦的表面区域和孔的内部尺寸周围具有一致的厚度。无针孔聚对二甲苯涂层可以防止物质转移到涂层基材中或从涂层基材中转移出来，即使在一个或两个微米层中也是如此。