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小型蒸镀仪
KT-Z1650CVD是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金属进行均匀蒸发沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
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设备名称 |
小型溅射仪 |
小型蒸镀仪 |
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控制方式 |
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
数字式功率调整器 |
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工作电源 |
直流溅射电源 |
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镀膜功能 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
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功率 |
≤1000W |
≤800W |
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输出电压电流 |
电压≤1000V 电流≤1A |
电压≤10V 电流≤80A |
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真空 |
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
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腔体真空 |
≤30Pa |
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挡板类型 |
电控 |
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真空腔室 |
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
石英腔体φ160mm x 160mm |
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样品台 |
可旋转φ62 （可安装φ50基底） |
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样品台转速 |
8转/分钟 |
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样品溅射源调节距离 |
40-105mm |
70-140mm |
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蒸发坩埚容积 |
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3ML |
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蒸发温度调节 |
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≤1600℃ |
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真空测量 |
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa） |
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预留真空接口 |
KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
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可选配扩展 |
1 膜厚在线测试 2 分子泵 |
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