日本ygkcop光学视觉检查仪DF / WF-100
日本ygkcop光学视觉检查仪DF / WF-100
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    商品详情

      日本ygkcop光学视觉检查仪[DF / WF-100]

      YPI-MX-ΘDC 

      YPI-MN

      晶圆

      DF WF-100高性能站立式光学外部皮肤测量设备



       
      自动化显微镜外观检查的理想选择。
      高速检查晶圆/基板缺陷和异物。
      由于可以一次检查两个表面,因此在透明基板的情况下,可以同时检查正面和背面以及正面和内部,并且可以分离检查结果。


       
       

      设备规格

      对应板子尺寸200毫米x 200毫米
      吞吐率约1分30秒□100 mm(检测到3μm)
      工作安装手动真空吸附
      设备外形尺寸宽800毫米x深800毫米x高1,710毫米
      分辨率0.87微米
      待检查的基材晶圆,玻璃和各种基材。非图案或相同图案
      (网格,针孔)
      功能是的
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  • 0571-87774297