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广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS，13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP 双模式。硅晶圆的灰化及蚀刻、基板表面污垢处理、IC/LED封装、BGA/CSP基板处理、半导体相关部品的电子材料的干式清洗、自然氧化膜·有机物去除、界面活性处理、表面污染物去除。
等离子清洗机特点：
硅晶圆的灰化及蚀刻。
基板表面污垢处理。
IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。
半导体相关部品的电子材料的干式清洗。
自然氧化膜·有机物去除。
界面活性处理。
表面污染物去除。
等离子清洗机技术参数：
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型号 |
V1000 |
V1000X |
V1000XS |
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等离子模式 |
DP/RIE |
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高频电源 |
13.56MHz |
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输出功率 |
Max1000W |
Max1000&1500W |
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有效电极尺寸 |
W280xD280mm |
W300xD300mm |
W400xD375mm |
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电极 |
平行平板 |
2段电极（独立） |
平板（多目的） |
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反应气体 |
聚合控制器2系统（填充气路另行安装） |
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真空泵（标配） |
约1000L/min |
约1500L/min |
1000&1500L/min |
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安全装置 |
门检测开关、连锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等 |
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雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于等离子清洗机的信息，欢迎来电咨询。
