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外加电压使气体电离的过程中,被电离出的等离子体温度高,但整个体系呈现低温状态,所以又被称为低温等离子体。由于低温等离子体产生不需催化剂,且对有机废气的浓度要求不高,所以特别适合处理汽车行业喷漆、烘干过程中产生的有机废气。经过低温等离子焚烧后的废气转化为CO2和H2O,不产生二次污染,并且处理后的气体无异味,处理效率高。为低温等离子废气处理工艺流程图。从图中可以看出,DBD燃烧器是整个工艺过程中的核心,废气在燃烧器中进行分解和转化为无毒无害的无机分子,达到处理废气的目的。