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用途:
1.、用作半导体掺杂剂及高纯磷的原料。在整个电路生产的工艺过程中,三氯化磷的质量对控制沾污、提高集成电路成品率起着重要作用。3. 三氯化磷是一种氯代试剂,能够与氧杂、氮杂、硫杂、双烯等化合物剧烈反应,也可与有机金属化合物、金属盐反应,是合成含磷金属配体的磷源。